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MEMS傳感器七大分類

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   MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。它具有體積小、質量輕、成本低、功耗低、可靠性高、技術附加值高,適于批量化生產、易于集成和實現智能化等特點。下面小編給大家介紹一些MEMS傳感器七大分類:

  MEMS傳感器通常被分為以下7類。

  1、壓力傳感器:絕對壓力傳感器和計量壓力的傳感器。

  2、熱學傳感器:溫度和熱量傳感器。

  3、力學傳感器:力、壓強、速度和加速度傳感器。

  4、化學傳感器:化學濃度、化學成分和反應率傳感器。

  5、磁學傳感器:磁場強度、磁通密度和磁化強度傳感器。

  6、輻射傳感器:電磁波強度傳感器。

  7、電學傳感器:電壓、電流和電荷傳感器。

  除了上面介紹的幾種典型MEMS傳感器外,還有許許多多的MEMS傳感器,如用于微觀判斷的MEMS觸覺傳感器、MEMS生物傳感器、MEMS圖像傳感器等。在不同環境中,MEMS傳感器的技術應用也是不同的。


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